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真空箱氦检漏的不同测量方法
- 2020-10-15-

       真空箱氦检漏中氦质谱检测系统的关键部件是进口设备,性能稳定可靠,能够满足各种需求。真空箱氦泄漏检测显示长体积和优越的性能,适用于许多行业。真空箱氦泄漏检测采用氦质谱和反扩散原理。采用原装进口分子泵,180°磁场不均匀,采用全自动控制技术,实现氦峰自动扫描、自动调零、自动校准、自动量程切换。它具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰性好等优点。氦质谱检漏仪可以检测微电子或半导体器件封装腔体的气密性。该检测方法使用的示踪气体为氦气,质量小、重量轻、渗透性强,达到了精细检漏的目的。真空箱氦泄漏检测有五个特点:一是检测时间和响应周期很短,可达2s以内;二是常用检测介质,只需压缩空气;三、大泄漏有多种防护方法,充分保护离子源在暴露于大气中时不受氧化冲击和冲击;四、大检漏功能:通过预设压力,可以排空,但达不到预设值,检漏仪自动给出报警提示。多个测量单位的选择,检测数据的实时更新,直接输出,Excel表格的生成。采用真空法检漏时,应使用辅助真空泵或检漏器对被检产品的内密封室抽真空,并用氦气或空气射流向被检产品表面注入氦气。当被检产品表面有漏孔时,氦气通过漏孔进入被检产品内部,然后通过氦质谱检漏仪送到被检产品的测漏装置。真空法按漏气方式可分为真空喷射法和真空氦气面罩法。其中真空氦掩膜法是用喷枪向被测产品外表面吹氦气的方法,可以实现漏孔的定位;真空氦罩法用具有一定密封功能的氦罩覆盖所有待检产品,使待检产品充满一定浓度的氦气,可以测量待检产品的总泄漏率。