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​氦质谱检漏仪的结构及工作原理
- 2021-09-28-

氦质谱检漏仪的结构及工作原理

       针对氦质谱检漏仪内部密封结构出现泄漏,检测信号不准确,质谱室故障,分子泵不工作,前机泵不工作等问题,提出了解决办法和建议。同时总结了检漏仪在使用中应注意的问题。

       氦质谱检漏仪检测灵敏度高,反应速度快,定位准确,在压力容器中得到了广泛的应用。宇航、原子能、发电厂、制冷工业。氦质谱检漏仪在使用过程中,常常会出现一些故障现象,影响氦质谱检漏仪的正常运行。如不注意,则会危及检漏仪的使用寿命。掌握和了解检漏仪常见故障的维修技术,有利于检漏工作的顺利进行和设备的维修,也可使使用者能够及时解决或避免某些故障或现象。

氦质谱检漏仪的结构及工作原理。

        氦质谱检漏仪的基本原理是,不同质荷比的离子在磁场中运动时,其偏转半径不同,从而实现不同类型离子的分离。本仪器主要由质谱室、真空系统和电控部分组成。测漏器工作时,首先打开抽气阀前泵真空检漏口,当真空P1大于200Pa时,打开进口1.2,关闭抽气阀,此时,氦将反吹反吹泵的抽气方向进入质谱室进行检测,此时检漏机的可检漏速率为10-10Pa。在P1下降到20Pa时,两个进口阀关闭三个进口阀,分子泵高速抽空试件,提高了分子泵的抽速,缩短了检测时间。这时,检漏仪的检漏率在10-12毫安/秒之间。