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真空箱氦检漏回收设备
- 2021-08-24-

随著科技的不断发展,真空箱氦检漏回收设备应用技术也在不断发展和完善。

造成这种现象的主要原因有二:一是真空箱氦检漏回收设备的应用技术不断对真空箱氦气泄漏检测回收设备提出新的要求,迫使其自我更新;另一方面,真空箱氦检漏回收设备在真空箱氦气泄漏检测回收中不断的完善。通过近半个世纪的努力,真空箱内泄漏检测与回收装置的研制与上世纪40年代初期的发展大相径庭。


真空箱氦检漏回收设备的主要表现是:

(1)氦检漏仪:各国近期推出的小型便携式真空箱检漏回收装置,不仅灵敏度高,而且携带方便,十分方便野外作业和高空作业。

(2)高压检漏:检漏口压力可达数百个,有利于检测大型系统和大型泄漏工件。

(3)高自动化:氦峰自动校准,自动调零,范围自动转换,数据自动处理,外接打印机。全机采用微电脑控制,具有菜单选择功能,一键操作,全过程一次完成。

(4)无油干燥检测泄漏:有些国生产的设备可采用干泵达到无油蒸汽效果,这为无油系统、晶片等半导体设备的泄漏检测提供了有利条件。

(5)检漏范围广:目前生产的设备具有广泛的质量,不仅能探测氦气,而且能探测其他气体。


以分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,既解决了油蒸汽对质谱室的污染,又大大促进了仪器快速开闭。为了满足不同的检漏口压力和不同灵敏度的要求,分子泵通常采用多段结构,不同的速度。比如,可以通过改变分子泵的速度和提高泄漏探测的灵敏度来实现。另外,用反向扩散方法实现高压泄漏检测,为泄漏检测提供了良好的条件。