​氦质谱检漏设备的结构原理

氦质谱检漏设备的结构原理

氦质谱检漏设备的优点

1.多种语言和度量单位选择，可选中文界面。

2.135o离子偏折(天然聚焦)全新质谱技术，金属密封结构。

3.新的电子线和信号处理设计。

4.可检测的泄漏.灵敏度涵盖12个级别。

5.快速排除氦气，快速反应。

6.测试口耐压能力强，可以进行大规模泄漏检测。

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氦质谱检漏设备的结构和工作原理。

       使用180°磁偏转变质谱分析仪的基本原理是：当离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径，从而实现不同类型离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统、电气控制三部分组成。质谱仪是通过核子部件质谱室，把不同质量的气体转换成离子，在不同质荷比的离子出现时，它们相互分离，而同质荷比相同的离子聚集在一起，若接收1器在适当位置接收全部离子，可获得按质荷比大小排序的质谱。那是质谱。

       在氦质谱检漏设备工作时，首先打开抽气阀前级泵抽真空检漏口，当真空度P1大于200Pa时，打开进口阀1.2，关闭抽气阀，这段时间，氦气会反向抽吸分子泵，进入质谱室进行检测，此时检漏器的检漏率为10-10Pa.m3/s。P1降至20Pa时，进水阀2个关闭入口阀3个，分子泵用高抽速作抽空试件，使分子泵抽速增大，使检漏仪反应时间缩短，此时检漏仪的较小可检漏率为10-12Pa·m3/s。