氦质谱检漏设备的结构原理
2021-11-12 北京科仪创新真空技术有限公司
氦质谱检漏设备的结构原理
氦质谱检漏设备的优点
1.多种语言和度量单位选择,可选中文界面。
2.135o离子偏折(天然聚焦)全新质谱技术,金属密封结构。
3.新的电子线和信号处理设计。
4.可检测的泄漏.灵敏度涵盖12个级别。
5.快速排除氦气,快速反应。
6.测试口耐压能力强,可以进行大规模泄漏检测。
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氦质谱检漏设备的结构和工作原理。
使用180°磁偏转变质谱分析仪的基本原理是:当离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径,从而实现不同类型离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统、电气控制三部分组成。质谱仪是通过核子部件质谱室,把不同质量的气体转换成离子,在不同质荷比的离子出现时,它们相互分离,而同质荷比相同的离子聚集在一起,若接收1器在适当位置接收全部离子,可获得按质荷比大小排序的质谱。那是质谱。
在氦质谱检漏设备工作时,首先打开抽气阀前级泵抽真空检漏口,当真空度P1大于200Pa时,打开进口阀1.2,关闭抽气阀,这段时间,氦气会反向抽吸分子泵,进入质谱室进行检测,此时检漏器的检漏率为10-10Pa.m3/s。P1降至20Pa时,进水阀2个关闭入口阀3个,分子泵用高抽速作抽空试件,使分子泵抽速增大,使检漏仪反应时间缩短,此时检漏仪的较小可检漏率为10-12Pa·m3/s。