氦质谱检漏是指从真空室外部向被检部位吹入氦气，然后通过与真空室相连的真空箱的氦检漏回收装置检测侵入的氦气，是目前常用的真空检漏方法。真空箱氦检漏回收设备的基本原理描述如下:灯丝产生的热电子加速流入阳极，遇到气体分子后电离。当离子向收集器方向运动时，设置一个磁场，使离子在洛伦兹力的作用下沿圆形轨迹运动。质量为m、电荷为e的离子的圆轨道半径与质荷比m/e有关。适当设置出气口的位置，使m/e=4，即He+可以通过出气口，而与氦不同质荷比的其他离子不能通过出气口。由于其偏转半径与仪器的狭缝设置不同，真空箱的氦检漏回收装置只能检测一价氦离子。真空箱氦气检漏回收装置性能稳定，灵敏度高。评价真空箱氦气检漏回收设备的主要指标是灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度和仪器入口抽气速度。使用氦气检测气体的主要原因有:(1)对人体和自然环境无害；(2)不能安全燃烧和工作；(3)惰性气体和被测物体不会发生化学反应；(4)分子直径小，质量小，容易通过微小缝隙，容易被检测到泄漏；(5)正常环境下，气体状态不会堵塞漏气孔；(6)真空室本身释放的气体几乎不含氦气；(7)氦气在空气中只存在5ppm，很容易定位气体泄漏点。由于氦气比空气轻得多，所以当氦气被送到真空室进行检漏时，要自上而下操作，否则不利于泄漏点的判断。当腔体结构复杂或泄漏率极小时，可以将关键部件包裹在塑料袋中，然后向塑料袋中注入氦气，实现对关键部件的泄漏率检测。一般来说，真空检漏主要集中在以下几个方面:(1)法兰接口；(2)焊缝；(3)波纹管；(4)其他密封处。实验室发现漏气较多的原因是:密封面或垫片不干净，法兰螺栓扭矩不均匀。