电力行业真空箱氦检设备-北京科仪创新真空技术有限公司

一、基本概念与原理

真空箱氦检设备是电力行业用于检测高压开关设备、GIS 等密封容器微小泄漏的精密仪器，采用氦气作为示踪气体，利用氦质谱原理进行高精度检测。

核心原理：

将被检工件置于密闭真空箱内，同步抽真空至低气压 (≤10Pa)，确保内外压差≤0.02MPa，防止薄壁工件变形

向工件充入≤0.03MPa (绝对压力) 氦气，箱内保持真空环境

氦气分子通过微小漏孔从工件内部泄漏至箱内，被氦质谱检漏仪捕捉并量化

检测灵敏度可达 10⁻⁹~10⁻¹² Pa・m³/s，能检测出年泄漏率≤0.1% 的微漏

二、系统组成与关键部件

·1. 真空箱系统

定制化内腔尺寸，适配不同电力设备 (如开关柜、环网柜)

不锈钢材质，内壁抛光处理，减少氦气吸附与本底干扰

左右滑动门设计，PLC 控制自动开合，确保密封性

·2. 真空抽气系统

多级真空泵组 (机械泵 + 涡轮分子泵)，极限真空≤10Pa

高精度真空测量装置 (电容薄膜规 + 电离规)，监控压力变化

·3. 氦质谱检漏核心

四极杆质谱分析器，专用于检测氦离子 (质量数 4)

检测精度达 5×10⁻¹² Pa・m³/s，能区分氦气与其他气体

·4. 充气回收系统

氦气高压储罐 (99.999% 纯度)，精确控制充入压力

氦气回收装置，回收率 > 98%，大幅降低使用成本

·5. 电控系统

PLC + 触摸屏，全自动控制检测流程，实时显示参数与结果

多重安全保护：光栅防护、电气互锁、密码控制、声光报警

三、详细步骤：

·同步抽真空：真空箱与工件同时抽至低真空，监测压力变化，判断是否存在大漏

·充氦检测：工件充入≤0.03MPa 氦气，真空箱维持高真空，氦质谱仪捕捉泄漏信号

·氦气回收：检测后回收工件内残留氦气，回收率 > 95%，循环利用

四、核心优势：

高精度：可检测小至每秒几个氦原子的泄漏，远超传统气泡法、压降法

无损检测：对工件无损伤，不影响设备性能和使用寿命

定量分析：直接显示泄漏率数值，便于质量管控和追溯

电力行业真空箱氦检设备