北京氦质谱检漏仪的优点集中体现在以下方面：

1.便携式：北京氦质谱检漏仪不仅灵敏度高，而且携带方便，为野外作业和高空作业提供了较大的方便。

2.高压强下检漏：检漏口压强可达数百帕左右，适合于大型系统和有大漏口的工件。

3.高度自动化：自动校准氦峰，自动调整零点，自动量程转换，自动数据处理，可外接打印机。整台机器采用微机控制，菜单选择功能，一个按钮就可以完成整个漏检过程。

4.完全不含油干检漏：在某些情况下生产的检漏装置，可以使用干泵，以达到不含油蒸汽的效果，为不含油系统和芯片等半导体器件的漏电提供了有利条件。

5.检漏范围大：北京氦质谱检漏仪质量范围大，不仅可以探测氦气，还可以探测其他气体。分子泵排气系统代替扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸汽对质谱室的污染，而且大大提高了仪器的快速启动和快速停止能力。

为了适应检漏口压强的变化和灵敏度要求的不同，分子泵通常采用多层结构和多种不同的转速。如采用改变分子泵转速可以实现这一目的，并可提高检漏灵敏度。此外，反扩散检漏方式实现了高压强下的检漏，也为泄漏的检测创造了有利条件。

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