“63kv及以上的GCB和GIS生产必备条件”中，高压电器行业提出产品必须满足技术要求和安全要求。SF6气体作为高压开关设备绝热灭弧介质，产品要求开关内部的SF6气体泄漏较小，即具有良好的密封性能。因此在再制造过程中要对各部件及出厂整机进行检漏，高压电器所使用的氦质谱检漏仪更方便，操作更简单，检漏效果也更好。过去常采用卤素检漏仪进行检漏，但由于灵敏度低，难免会出现漏检或错检，造成总装后产品气密性不合格，造成返工，不仅浪费人力物力，而且延误生产周期。因为使用氦质谱检漏仪弥补了传统检漏方法的不足，可对漏点、漏率进行检测。根据被检工件的具体情况确定氦质谱检测方法：1.对于体积较小的零件，如波纹管、各种充气接头和气管焊件等，用氦罩法对被检工件进行抽空，将被检工件调至漏率(10-11Pa.m3/s)，然后对氦罩进行冲氦，同时观察漏率显示，一次增大表明工件不合格。2.对于较大的工件，采用背压发射器，根据工件体积试用不同尺寸的检漏罐。一般情况下，工件被冲入0.6MPa纯氦或氦气(含量30%)-氮混合气中，然后装入检漏罐中。首先通过辅助抽气系统抽到5帕以下，关闭抽气阀，打开检漏阀，进行检漏。漏报率超过指定的值就是不合格。三、分装机和总装机均采用吸入式。工件喷入氦氮混合气体中，用吸枪在工件的装配面或疑是漏点上找漏。泄漏量大于规定值的仪器显示有漏。北京科仪创新真空技术有限公司是一家专业从事真空设备、氦质谱检漏仪、氢气检漏仪、超高真空等产品的企业。聚集了国内外一大批从事真空检测的专业技术人员，一直致力于真空箱氦气检测、真空箱氢气检测系统的研究。在能源短缺的未来世界里，科仪创新公司一直致力于研究替代氦气作为示宗气体的检漏设备，因为氦气的能源短缺。经过我司科研人员2012年的不懈努力。氢检漏系统是在反复试验、论证后产生的。