氦质谱检漏仪的优点集中体现在四个方面。

作为气体工业名词，氦质谱检漏仪是一种用氦气或氢气作示漏气体，用气体分析仪检测氦气的质谱仪。

氦质谱检漏仪没有手动阀，现在使用自动阀来自动调节运行误差。为了消除可能产生的油返流，采用涡轮分子泵代替油扩散泵。在检漏仪中也得到了计算机技术的应用。操作，控制及输出数据均由计算机自动完成。用阴端射线管显象屏取代了典型的示波器。全过程只需按不同的按钮自动完成。

氦质谱检漏仪目前已广泛应用于军事工业、航空航天、新能源、电子产品、阀门、电力、核电、制冷和家用电器等领域。今后几年内，氦质谱检漏仪还将在许多工业领域中得到新的应用。

氦质谱检漏仪的优点集中体现在以下几个方面

便携式：许多小型化的便携式检漏仪不仅具有较高的灵敏度，而且携带方便，为野外作业和高空作业提供了较大的方便。

高压强下检漏：检漏口压强可达数百帕左右，适合于大型系统和有大漏口的工件。

高度自动化：自动校准氦峰，自动调整零点，自动量程转换，自动数据处理，可外接打印机。整台机器采用微机控制，菜单选择功能，一个按钮就可以完成整个漏检过程。

完全不含油干检漏：在某些情况下生产的检漏装置，可以使用干泵，以达到不含油蒸汽的效果，为不含油系统和芯片等半导体器件的漏电提供了有利条件。

为了适应检漏口压强的变化和灵敏度要求的不同，分子泵通常采用多层结构和多种不同的转速。如采用改变分子泵转速可以实现这一目的，并可提高检漏灵敏度。此外，反扩散检漏方式实现了高压强下的检漏，同时也为正压吸枪检漏提供了有利条件。

氦质谱检漏仪不仅可以探测氦气，还可以探测其他气体，其质量范围广。分子泵排气系统代替扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸汽对质谱室的污染，而且大大提高了仪器的快速启动和快速停止能力。

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