氦质谱检漏仪的维修方法和常见故障的处理。

1.机械式维修

检验机泵的油量，如低于较低标线则加泵油；如变黑、混浊则更换机泵。使用方法见机械泵的使用说明书。

2.清洁。

泄漏探测器没有氦气进入，但有一定的泄漏速率指示，且长期存在。这多是由于检漏口、波纹管、密封圈等经污染后吸附的氦气，在检漏时又被释放，造成较大的本底。为了防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪，在氦质谱检漏仪的下方设置了一个过滤器，将其拆卸并用酒精浸泡清洗。检漏，波纹管用棉布擦净。

3.处理。

下面是常见的故障现象，故障的原因和解决办法。

断电：

1.电源线接插不当；

2.保险管的熔断。

3.重新接通电源。

4.更换相同规格的保险管。

机械式泵声响和排气口冒烟：

1..机械泵处于通抽状态。

2.检查漏水口，波纹管，被检件密封是否良好，重新安装波纹管，被检件。

氦底部高度：

1.被检件密封不良，导致检漏口入口压力大，质谱室真空度低。

2.在被检查物品中，氦气很难在短期内清除。

3.被检件重新密封。

4.使用零位调节功能检漏。

存储。

长时间不使用时，用盲板将检漏口、机械泵排出口封住，用棉布或硬纸板遮挡触摸屏，标准漏孔、气袋喷枪及相关配件装入包装盒，存放于阴凉通风处，无漏雨、火灾等危险的地方。

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