大家好，

　　真空法氦质谱检漏

　　用真空法检测泄漏时，应使用辅助真空泵或检漏仪，将真空抽出被检产品内部密封舱，并通过氦气盖或注入的方法，将氦气应用于被检产品外部。当被检产品表面有孔时，氦可以通过泄漏孔进入被检产品内部，通过氦光谱检漏仪测量被检产品的泄漏量。根据气体泄漏方法的不同，真空法可分为真空喷射法和真空氦气覆盖法。其中真空喷射法可以使用喷枪将氦气喷射到被检产品的外表面，准确地找到泄漏的孔。真空氦气覆盖法使用具有一定密封功能的氦气覆盖物，覆盖所有检查的产品，覆盖物内充满一定浓度的氦气，可以测定检查产品的总泄漏率。

　　真空法的优点是感知灵敏度高，可以指定准确的位置，可以检测大型集装箱或复杂结构产品的泄漏。

　　真空法的缺点是只能实现一个气压差异的泄漏率检测，不能准确反映压力检查产品的实际泄漏情况。

　　真空法的检验标准主要是QJ3123-2000 《氦质谱真空检漏方法》、GB  /T  15823-2009 《氦泄漏检验》，主要适用于真空密封性能要求，但也主要适用于没有压力的产品，如空间活动部件、氢气罐、环境模拟设备等。

　　正压氦质谱检漏

　　用正压法检测泄漏时，被检产品内部的密封舱要填满高于大气压力的氦气，被检产品表面有孔时，氦气会钻洞进入被检外部表面的周围大气环境，通过吸入枪的方式，在被检产品周围的大气环境中检测到氦气浓度增加，实现被检产品泄漏测量。根据氦收集方式，正压法可分为正压吸入法和正压累积法。其中正压吸入枪法可以使用检波器吸入器对被检产品的外表面进行扫描，以确保泄漏孔的准确位置。正压累积法使用具有一定密闭功能的氦气盖覆盖所有检查过的产品，利用漏气吸入器测定一段时间前后氦气内氦气浓度的变化量，准确测定检查过的产品总泄漏率。

　　正压法的优点是不需要辅助真空系统，确定准确的位置，在任何工作压力下都能检测到。

　　正压法的缺点是感知灵敏度低，检查结果不确定性大，受测量环境条件的影响较大。

　　正压法的检查标准主要是QJ3089-1999 《氦质谱正压检漏方法》、QJ2862-1996 《压力容器焊缝氦质谱吸枪罩盒检漏试验方法》，主要适用于高压密封容器产品的泄漏检测，如高压氦气瓶、门泄漏等。

　　真空压力氦质谱检漏

　　使用真空压力法检测泄漏时，需要将被检产品全部放入真空密封室，真空密封室与辅助真空系统及检漏仪连接，被检产品的膨胀接口通过连接管拉出真空密封室后与氦气源连接，被检产品表面有泄漏时，氦气可以通过泄漏孔进入真空密封室，通过氦气光谱检漏仪测量被检产品的总泄漏率。真空压力法的优点是检测灵敏度高，可以检测任何工作压力，反映被检物的实际泄漏状态。

　　真空压力法的缺点是泄漏检测系统复杂，需要根据被检查产品的体积和形状设计真空密封室。需要说明的是，在泄漏检测过程中，必须进行特殊的结构设计，以防止膨胀管道接口泄漏，或将所有膨胀管道连接接口放置在真空密封室外部。

　　真空压力法的检查标准是GB  /T  15823-2009 《氦泄漏检验》，主要适用于电磁阀、高压膨胀管、推进剂水箱、天线、应答机、成型产品等结构简单、压力不高的密封产品。

　　背压法氦质谱检漏

　　用背压法检测泄漏时，首先将被检入高压氦气室的产品浸泡数小时或数天，如果被检出的产品表面有孔，氦气就会通过泄漏压入被检出产品的内部密封腔，从而导致内部密封腔中氦气分压上升。然后，取出被检的产品，去除表面的剩余氦气，然后将被检的产品放入连接到检查器的真空容器中，被检产品内部密封腔内的氦气通过泄漏泄漏泄漏到真空容器中，进入氦气光谱检漏仪，即可测量被检产品的总泄漏率。探测器给出的泄漏率值是测量泄漏率，被检查产品的等效标准泄漏率应通过转换公式计算。

　　背压法的优点是感知灵敏度高，允许小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行大规模检测。

　　背压法的缺点是不能泄漏大型密封容器。否则，密封腔的体积太大，加压时间太长。另外，每个测量泄漏率对应两个同等的标准泄漏率，仔细检查完成后，应通过其他方法粗体检查，以消除大泄漏的可能性。

　　背压法的泄漏标准主要是QJ3212-2005 《氦质谱背压检漏方法》、GJB360A-1996 《电子及电气元件试验方法方法112 密封试验》，主要适用于各种电子元件产品泄漏。

       感谢大家耐心看完，如果想要更多关于真空箱氦检漏回收系统、氦质谱检漏仪的相关知识，欢迎联系我们！