氦检漏设备由于具有检测灵敏度高，反应速度快，定位定量准确等优点，已得到广泛应用，但在长期的使用过程中，经常发生故障或现象，影响设备的正常使用。下面谈谈对氦检漏设备的维护注意事项：1.如果不每天使用氦检漏设备，建议每周开机检查，使高真空系统保持真空，缩短氦检漏设备使用时的开机时间2.在安装过程中，应避免安装部位发生泄漏，可利用氦检漏设备进行自身检漏。三、适时对氦检漏设备中可能发生的泄漏部位(如放气阀等)进行自检漏，发现漏点后应及时取出清理或固定，以免在检漏过程中影响检漏工作。四、氦检漏设备的维护，定期维护油泵。5.(处理散热口灰尘，检查更换泵油)禁止任何外来物落在或洒在氦检漏设备上，特别是在进气口，因为氦检漏设备为精密设备，其存放和使用环境应保持清洁、卫生。这个氦检漏设备只能用于经过训练或合格的设备维修工程师。6.使用时，要注意观察氦检漏设备的工作状态，一旦发现问题(如振动大、噪音大等)，应立即停止运行。涡轮机分子泵高速运转时，如果移动氦检漏设备，很容易使分子泵内的叶片与转子筒发生碰撞。立即断电并排除故障。当心内部泄漏，当在氦检漏设备内部发生泄漏时，会对检漏工作产生很大的干扰，容易造成误检和误判。零件接头处的密封部分。例如放大器-质谱室，离子源-质谱室，分子泵-质谱室，标准漏孔-阀组，真空计-阀组等接口间的橡胶圈密封。用喷氦法寻找漏点，更换密封圈。