氦质谱检漏仪的结构及工作原理
针对氦质谱检漏仪内部密封结构出现泄漏，检测信号不准确，质谱室故障，分子泵不工作，前机泵不工作等问题，提出了解决办法和建议。同时总结了检漏仪在使用中应注意的问题。
氦质谱检漏仪检测灵敏度高，反应速度快，定位准确，在压力容器中得到了广泛的应用。宇航、原子能、发电厂、制冷工业。氦质谱检漏仪在使用过程中，常常会出现一些故障现象，影响氦质谱检漏仪的正常运行。如不注意，则会危及检漏仪的使用寿命。掌握和了解检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利进行和设备的维修，也可使使用者能够及时解决或避免某些故障或现象。
氦质谱检漏仪的结构及工作原理。
氦质谱检漏仪的基本原理是，不同质荷比的离子在磁场中运动时，其偏转半径不同，从而实现不同类型离子的分离。本仪器主要由质谱室、真空系统和电控部分组成。测漏器工作时，首先打开抽气阀前泵真空检漏口，当真空P1大于200Pa时，打开进口1.2，关闭抽气阀，此时，氦将反吹反吹泵的抽气方向进入质谱室进行检测，此时检漏机的可检漏速率为10-10Pa。在P1下降到20Pa时，两个进口阀关闭三个进口阀，分子泵高速抽空试件，提高了分子泵的抽速，缩短了检测时间。这时，检漏仪的检漏率在10-12毫安/秒之间。
