氦质谱检漏仪故障与处理

一、氦质谱检漏仪内漏。

1.内部密封结构。

如果氦质谱检漏仪内部有泄漏，会给检漏工作带来很大的干扰，容易造成误检和误判。氦质谱检漏仪内部的主要密封位置在检漏仪后面，在绝热板上方:

①检漏仪试验口与阀块的连接处，密封采用胶灌密封，运输过程中检漏仪振动强，密封胶开裂。

②每个电磁阀和阀门组件之间的连接部分。密封件用氟橡胶圈或金属垫片密封，密封寿命有限，使用5年以上，容易出现密封故障。

③零件接头处的密封部分。例如，放大器和质谱室、离子源和质谱室、分子泵和质谱室、标准漏孔和阀门组件。真空计和阀门之间的接触面用金属密封或橡胶圈密封。

2.处理方法。

不同密封部位的泄漏应采取不同的处理方法。

①检漏接口与阀块的连接部位有泄漏。首先，用灌胶密封。如果密封性能仍不符合要求，需要从制造商那里购买新产品。

②如果电磁阀与阀块之间的密封圈有泄漏，应更换密封圈，先用无水乙醇清洗密封面。密封圈不能在密封圈上涂抹凡士林或真空脂肪(这些材料在真空条件下放气会影响仪器底部)等密封添加剂。

③各部件之间的密封一般用橡胶圈密封，如有泄漏，应更换密封圈。注如下。

④真空测量仪的探头和外壳之间用密封剂密封，在检测中容易被忽略。如果这里有泄漏，可以用灌胶处理，但是探头间距很小，操作空间有限。