氦检漏设备由于检测灵敏度高、反应速度快、定位准确而得到广泛应用。但在使用过程中经常出现故障或问题，影响设备的正常使用。

氦检漏设备的维修注意事项如下：

1.如果没有每天使用氦检漏设备，建议每周通电一次，以便在高真空系统中保持真空，缩短氦泄漏仪的通电时间。

2.在安装过程中，应避免安装部位泄漏，并且可以自己检查。

3.(排气阀门等)应自检漏点，并在发现泄漏点后及时清洗固定，以免影响检漏。

4.氦检漏设备维护，泵定期保养。

5.(处理散热口灰尘，检查更换泵油)不得有外来物落在氦气检漏设备上，尤其是进气口，因为氦气检漏设备是精密设备，应保持其储存和使用环境干净卫生。本装置只适合训练合格的维修工程师。

6.使用时，注意观察氦泄漏探测器的工作情况。例如找到问题(例如振动、噪音等)。马上停止运转。

氦检漏设备在高速工作时，分子泵中的叶片易与转子筒发生碰撞。马上断电排除故障。氦气泄漏检测器泄漏时，要注意内部泄漏对泄漏检测工作的干扰，易造成误检和误判。封好部件的接头。如放大器-质谱室、离子源-质谱室、分子泵-质谱室、标准孔-阀组、真空计量阀、橡胶圈密封。找出泄漏点，用氦气喷射替换密封环。