氦质谱检漏设备方法

氦质谱检漏仪(HeliumMassSpectrometerLeakDetector)是气体工业术语，用氦或氢来表示泄漏气体，用气体分析仪来检测氦来检测泄漏。氦的底部噪声低，分子量和粘度系数小，容易通过泄漏孔扩散；此外，氦是惰性气体，不腐蚀设备，因此常用氦来表示泄漏气体。将这种气体喷射到接有气体分析仪(调整到只对氦反应的工作状态)的被检容器上。如果容器有泄漏孔，分析仪会反应，从而知道泄漏孔的位置和泄漏量。

氦质谱泄漏检测技术是真空泄漏检测领域不可缺少的技术。由于泄漏检测效率高、操作简单、仪器反应灵敏、精度高、不易受到其他气体的干扰，广泛应用于电阻炉泄漏检测。氦质谱泄漏检测仪是一种气密性检测仪，由氦气作为泄漏气体制成。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室、抽气系统和电气部件组成。质谱室内灯丝发射的电子在室内来回振动，与室内气体和泄漏孔进入室内的氦气相互碰撞，使其电离成为正离子。这些氦质谱泄漏检测仪在电阻炉泄漏检测中较常用检漏方法。

喷氦法检漏示 在检测较大部件时要借助机械泵进行真空预抽,就可以提高检漏效率和时间,如图5 所示,喷氦法在检查那些结构比较复杂的,密封口和焊缝又比较多而且挤在一起的小容器时,由于氦喷出后会很快扩散开来,往往不容易准确地确定漏隙所在的部位,要采取从不同角度喷氦,仔细观察反应时间上的差别和将已发现的漏孔用真空封泥暂时封起来等办法,就可以把漏孔逐个检出。