氦质谱检漏仪是一种性能稳定、灵敏度高的氦作为泄漏气体的是真空检测技术中敏感度高、常使用的检漏仪。

  氦质谱检漏仪是一种偏磁质谱仪。单级磁偏转转换仪的灵敏度为lo-9~10-12pam3/s，广泛应用于各种真空系统和元件的检测。单级磁偏转过渡仪的使用可以显著降低背景噪声。与单级磁偏转过渡仪相比，其灵敏度非常高，适用于超高真空系统、零部件和元件的检测。传统仪器采用反流法放置在主泵前端，使检验部件放置在检漏仪前。因此，它具有高压、无液氮、无污染的特点。适用于大泄漏、真空卫生差的真空系统，灵敏度可达10-12微米。

  氦质谱检漏仪主要由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离规、抽气机、电子元件等组成。它是由灯丝、离化室、离子加速器组成的离子源；由外部均匀磁场、挡板和接缝组成的分析器；由阻燃格栅、收集极和高电阻值组成的收集器，静电计管和冷阴极电离规的一级放大。

  当离化室N时，气体被电离成正离子，在电场的作用下聚合成一束。在加速电压下，S1槽以一定速度通过S1槽进入分析器。具有一定速度的离子在均匀磁场中以圆轨运动。逆流氦质谱检漏仪的结构特征。这类仪表是基于与不同气体类型有关的油扩散泵或分子泵的压缩比而制作的。举例来说，多段油扩散泵对氦气的压缩比为102，而空气中其他组分的压缩比为lO4~106。在检验过程中，通过被检部件漏孔进入主抽水泵前级位置的氦气，仍有一部分返回质谱室，由仪器的输出指示显示泄漏信号。氦质谱检漏仪是这样工作的。