常用的氦质谱检漏设备方法

        氦质谱检漏方法有很多种，根据被检件的测量目的可分为两类，一类是漏点型，另一类是漏率型。在实际检验过程中，应根据检验目的选择合理的方法，并根据被检设备的具体情况灵活运用各种检漏方法。

1、检测泄漏点氦质谱泄漏的方法。

确定漏点类型不仅是确定要检查零件的具体漏点或漏孔的位置，而且常见于卫星、导弹、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等大部件。

2、喷氦法氦质谱泄漏检测方法。

这是常用的方法。一般用于检测体积相对较小的零件，连接被检测器件和仪器。抽真空后，在被检测器件可能有漏孔的地方(如密封接头、焊缝等)用喷枪喷氦气。)。如果被检测器件的某个地方有漏孔，氦气会立即被吸入真空系统，从而扩散到质谱室。氦质谱检测器的输出会立即响应。使用这种方法，应该注意:氦气是一种轻惰性气体，喷出后会自动上升。为了准确地在漏孔位置喷洒氦气，应从上到下，从近到远(相对检测器位置)。这是因为氦气在喷洒下方可能被上方漏孔吸入，很难确定漏孔的位置。此外，氦气漏孔与质谱室的距离检测器的反应时间也不同，因此喷洒应从检测器的一侧开始从近到远。

在检测大型零件时，通过机械泵进行真空预抽，可以提高泄漏检测效率和时间。氦气喷射法在检查结构复杂、密封口和焊缝多、挤压在一起的小容器时，由于氦气喷射后会迅速扩散，往往不容易准确确定泄漏间隙的位置。应从不同角度喷氦气，仔细观察反应时间的差异，并用真空密封泥暂时密封发现的泄漏孔，以便逐个检测泄漏孔。

3、吸氦法氦质谱泄漏检测方法。

氦气吸收法主要用于检查一些大型密封容器。如导弹弹体、弹头、气罐、油罐等。，首先将容器抽真空，然后将氦气充入容器(为了节约氦量，可以使用低浓度氦气)，将橡胶管连接到氦质谱泄漏检测器的进气法兰上。橡胶管的前端有直径小的毛细管，使毛细管在充氦的被检测容器外壁的焊缝和密封接头上移动。如果容器有泄漏，泄漏的氦会被毛细管吸入，泄漏检测器会响应。

4、检测泄漏率氦质谱泄漏的方法。

泄漏测量型主要对密封要求严格的零件，如宇宙飞船、火箭液体燃料储料箱、卫星、电子元件等。该方法只能测试试件的泄漏率，不能确定泄漏的位置和数量。