真空箱氦检漏检测是指通过将氦质谱检漏仪连接到真空腔体外通过连接到真空腔上的氦质谱检漏仪检测入侵的氦。这是目前常用的真空泄漏检测方法。

       真空箱氦检漏的基本原理如下：灯丝发出的热电子在遇到气体分子后加速流向阳极，使气体分子离子化。在离子向离子收集极移动的过程中设置磁场，离子由洛伦兹力按圆轨移动。离子的质量是m，电荷为e，圆轨道的半径和质荷比m/e相关。合理设置出口缝隙的位置，使出口缝隙的位置合理设置m/e=4，即He+它可以通过间隙。由于偏转半径和仪器的狭缝设置不同，其他不同于氦质荷比的离子无法通过出口狭缝。因此，氦质谱检漏仪只能检测一价氦离子。使用氦质谱检漏仪，检测空间的真空度通常要求为10-3Pa下面，检测精度可达到10-13Pa·m3·s-1。

真空箱氦检漏特征：

1.在真空箱中进行高压氮气强度检测，以保护操作人员的安全。

2.真空箱内的氦气被压制，保证了检漏的准确性，高精度。

3.自动校准功能和自动校准程序可以随时校准检漏仪的灵敏度，准确度。

4.特殊设计的检测程序判断具体有漏工件，并通过灯光和液晶操作屏显示。

5.密封技术接头，减少误判。

6.电气控制系统的连锁保护和声光报警功能，保证了系统的安全可靠运行。

7.PLC控制，使系统运行清晰，实现实时监控。